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使用半导体晶圆传送设备的注意事项

发布时间：

2023-04-14

1、在使用半导体晶圆传送设备之前，一定要仔细阅读说明书，了解各个部件的构成、功能以及使用方法，以免不当使用导致意外情况的发生。
2、在使用过程中，应该根据晶圆的特性和质量来调整传送速度，以免出现因晶圆传送过快而引起的晶圆损坏、晶圆传送不畅等问题。
3、也要经常检查晶圆传送装置是否有故障，如果发现有故障，立即停机检测，以确保设备的正常运行。
4、在使用晶圆传送设备时，也要定期对设备进行清洁和保养，以保证设备的正常运行及物料的正常传送。
5、半导体晶圆传送设备是一种高精度的设备，使用时需要根据晶圆的属性调整传送速度，同时要经常检查设备是否有故障，并定期对设备进行清洁和保养，以确保设备的正常使用。

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