TP630(离子注入)
涌淳半导体专注于半导体工艺设备的研发、制造、销售及售后一体化服务,提供半导体厂商工艺设备的一站式解决方案。
关键词:
半导体设备、半导体工艺
所属分类:
产品描述
TP630 利用 PUMP 激光器对晶圆表面加热来测量反射晶格 damage 程度热波特征间接计算出与离子植入量成线性关系的 TW 值(infinity)。
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