TP630(离子注入)

涌淳半导体专注于半导体工艺设备的研发、制造、销售及售后一体化服务,提供半导体厂商工艺设备的一站式解决方案。

关键词:

半导体设备、半导体工艺

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产品描述

TP630 利用 PUMP 激光器对晶圆表面加热来测量反射晶格 damage 程度热波特征间接计算出与离子植入量成线性关系的 TW 值(infinity)。

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