OP5340（膜厚仪）
涌淳半导体专注于半导体工艺设备的研发、制造、销售及售后一体化服务，提供半导体厂商工艺设备的一站式解决方案。
关键词：
半导体设备、半导体工艺
所属分类：
产品描述
Opti-Probe 5000 用于非接触式晶圆膜厚测量，通过测量单层或多层晶圆上薄膜的光学参数（反射光和建模的薄膜参数），计算出薄膜厚度。Opti-Probe 5000 集成了多达六种不同的技术来测量薄膜厚度以及反射率，使用 laser，white light lamp，D2 lamp 等光源进行测量。
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